产品目录
联系我们

上海苏海电气有限公司

联系人:曹先生  
手   机:15900442098、13818227028
电   话:021-66276586、13764200842 
传   真:021-33321223 
地   址:上海闸北区恒丰北路100号
网   站:www.61539162.com
邮   箱:shhmdq@163.com

 

 

 

 
产品详情

石英管式微波等离子体发生装置

  • 产品名称:石英管式微波等离子体发生装置
  • 产品型号:FM-CVD8(升级型)、FM-CVD6(基本型)
  • 产品厂商:亨美
  • 产品文档:
你添加了1件商品 查看购物车
简单介绍
石英管式微波等离子体发生装置1、微波2.45GHz;0~500W或0~1000W足额功率,连续可调;2、本底真空不劣于10Pa;工作气体分3路控制流(入)量;

石英管式微波等离子体发生装置

的详细介绍
石英管式微波等离子体发生装置
  (一)性能概况
1、微波2.45GHz;0~500W或0~1000W足额功率,连续可调;
2、本底真空不劣于10Pa;工作气体分3路控制流(入)量;
3、Φ50mm或Φ90mm石英管反应室,置于微波系统和真空系统的偶合点上;
4、制冷循环水冷却。
                                (二)典型实验
1、化学气相沉积制备金刚石薄膜、碳纳米材料等;
2、集成电路等的刻蚀;
3、可催化引发常规化学很难实现的反应;
4、高分子、金属、生物材料表面改性。
                                 (三)产品特色
1、微波准零泄漏,确保人身**;
2、微波足额功率,等离子体活力强劲;
3、样品升降架精巧豪,可加热可冷却;
4、制冷循环水避免长流水费水扰民;
5、循环水机可联机可独立使用;
6、缺水保护报警功能完善可靠;
7、排气口有环保型油雾过滤器;
8、电控系统功能完善灵便醒目;
9、整机造型典雅大气。

标题:
内容:
联系人:
联系电话:
Email:
公司名称:
联系地址:
 
 
注:1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!

沪公网安备 31010602002556号